相关于毫米波手艺, 太赫兹手艺的研究还处在探索阶段。太赫兹手艺主要包括太赫兹波源、太赫兹传输和太赫兹检测等，其要害部件可以分为无源元件和有源器件. 无源元件包括太赫兹传输线、滤波器、耦合器、天线等, 而有源器件包括太赫兹混频器、倍频器、检波器、放大器、振荡器等。
太赫兹源
陪同着太赫兹波天外行艺的生长, 太赫兹源的研究已有许多有价值的新希望. 研发低本钱、高功率、室温稳固的太赫兹源是生长太赫兹手艺的基础. 太赫兹源的分类多种多样, 凭证爆发气理, 可以分为基于光学效应和基于电子学的太赫兹源。凭证源类型可以分成3 类: 非相关热辐射源、宽带太赫兹辐射源以及窄带太赫兹一连波源。
1.非相关热辐射源
非相关热辐射源在热平衡的情形下将热能转换为光能, 爆发一连的光谱。 主要例子如一样平常生涯中的太阳, 以及白炽灯. 由于其爆发的太赫兹波功率很低, 应用远景较为局限.
2.宽带太赫兹辐射源
宽带太赫兹辐射源现在主要应用于光谱系统, 主要由周期为几十到几百个飞秒的脉冲爆发，在频谱上包括高达几十太赫兹的超宽频谱分量. 爆发要领包括：
a) 光导天线：光导天线举行太赫兹辐射的主要机理是光导天线在光脉冲的照射下爆发载流子, 并在电场作用下加速运动, 在外貌爆发瞬态电流,进而辐射太赫兹电磁波，其特点是具有较高的输出能量. 近年来, 海内外开展了许多关于光导天线爆发宽带太赫兹波的研究。
b) 光整流法: 光整流法是使用非线性的光整流效应, 使两个光束或者一个高强度的单色光束在介质中撒播时爆发差频或和频振荡，其特点是可以实现太赫兹超宽带输出, 可是输出能量相对不高. 基于此原理, 太赫兹辐射源获得了长足的生长。
c) 空气等离子法: 空气等离子法的原理是使用激光聚焦击穿空气爆发太赫兹辐射。
d) 半导体外貌: 基于半导体外貌的太赫兹辐射源的基本事情原理可以总结成外貌电场效应和光生丹培效应. 关于某些宽带隙的半导体质料, 其外貌保存外貌态, 由于外貌和内部的费米能级纷歧致, 会形成外貌电场. 在这个电场作用下, 被激光引发的载流子会形成瞬态电流, 从而形成太赫兹辐射. 关于某些窄带隙半导体质料, 由于其吸收系数很大, 大宗的载流子会在半导体外貌形成, 其中的电子和空穴在向半导体内扩散的时间使正负电荷在空间中疏散, 形成光生丹培电场, 辐射太赫兹波. 这种方法的特点是简朴易操作, 但辐射功率较低。
3.窄带太赫兹一连波源
窄带太赫兹辐射源的目的是爆发一连的线宽很窄的太赫兹波. 常用的要领包括:
a) 使用电子学器件设计振荡器, 尤其是以亚毫米波振荡器为基础, 提高振荡器的事情频率, 以设计实现适合太赫兹频段的振荡器. 由于这一特点, 现在报道的太赫兹源的事情频率主要集中在较低的太赫兹频段。可是, 在此基础上使用倍频链已获得了1THz 左右甚至更高频率的太赫兹波。
b) 太赫兹量子级联激光器(THz-QCL) 作为相关光源的一种，是基于导带子带电子能态间跃迁和声子共振辅助隧穿实现粒子数反转. 随着量子级联激光器的迅速生长, 可以用来研究细小标准的物质运动, 好比电子微观输运, 纳米光子学等。 同时由于其结构紧凑, 使之在许多领域具有很高的应用价值, 如天体物理和大气科学、空间通讯、细密光谱丈量、安检领域和太赫兹成像等。
c) 自由电子激光器是将在磁场中运动的相对论电子束的动能转换为光子能量, 从而爆发激光, 其特点是具有高能量和高相关性. 由于其一连性,辐射波长可以调谐到任何波长, 很是适适用作太赫兹辐射源, 但自由电子激光器的弱点是功耗高、体积大和用度腾贵, 因此自由电子激光器基本上用在实验室情形中。
d) 光泵太赫兹激光器: 太赫兹频段切合许多极性分子的转动能级, 光泵太赫兹激光器使这些极性分子的转动能级间的粒子数反转,从而爆发太赫兹辐射. 海内外相关事情中, 常用的气体有CH3F 、NH3、D2O 、CH3OH 等。
e) 差频太赫兹辐射源: 差频太赫兹辐射源主要使用非线性晶体的差频效应来爆发相关窄带的太赫兹辐射. 这种要领中, 需要两束差别波长的激光, 即频率差别, 以一定角度泵浦非线性晶体, 例如GaSe、ZnGeP2、GaAs、GaP、LiNbO3 以及有机晶体DAST 等. 太赫兹波的频率取决于泵浦光波长, 可以利便举行调谐。
f) 光参量法: 光参量法是使用一束泵浦光入射晶体, 引发出斯托克斯光和电磁耦子. 在泵浦光和斯托克斯光的配相助用下, 电磁耦子爆发受激拉曼散射, 实现太赫兹辐射。